제품소개
Bare Glass 검사 장비
Bare Glass 복합 검사 장비
- 기존에 개별 장비로 분리되었던 Particle검사, 표면검사, 내부검사 기능을 하나의 AOI로 구현
- Gen6 ~ Gen10.5 대응
- 비접촉 Air floating
- High speed TDI line scan camera
- 고출력 LED / Laser 조명
- Pneumatic vibration isolator
검사 기능
| 항목 | 사양 | 비고 |
|---|---|---|
| Particle 검사 |
|
Image Resolution 10um |
| 내부 결함 검사 |
|
Image Resolution 5um |
| 표면 결함 검사 |
|
Image Resolution 5um |
Particle 검사 장비
- 1um 이상의 Particle 검출
- TDI line scan camera
- Special laser illumination
- Air Floating Scan
- Defect Threshold Setting
- Defect Classification
- Pass / Fail Judgment
- Defect Map Viewer
Glass Edge 검사 장비
- Glass Edge부의 결함 검출
- Chipping, Crack, Broken, Remain 등
- Line scan camera
- 상/하면 검사
- 측면 검사 (Option)
