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Bare Glass 검사 장비


Bare Glass 복합 검사 장비

  • 기존에 개별 장비로 분리되었던 Particle검사, 표면검사, 내부검사 기능을 하나의 AOI로 구현
  • Gen6 ~ Gen10.5 대응
  • 비접촉 Air floating
  • High speed TDI line scan camera
  • 고출력 LED / Laser 조명
  • Pneumatic vibration isolator
Bare Glass 검사 장비

검사 기능



항목 사양 비고
Particle 검사
  • TDI Line Scan
  • 고출력 Laser 조명
Image Resolution 10um
내부 결함 검사
  • TDI Line Scan
  • White LED 조명
Image Resolution 5um
표면 결함 검사
  • TDI Line Scan
  • 고출력 Laser 조명
Image Resolution 5um
Bare Glass 검사 장비

Particle 검사 장비

  • 1um 이상의 Particle 검출
  • TDI line scan camera
  • Special laser illumination
  • Air Floating Scan
  • Defect Threshold Setting
  • Defect Classification
  • Pass / Fail Judgment
  • Defect Map Viewer

Glass Edge 검사 장비

  • Glass Edge부의 결함 검출
  • Chipping, Crack, Broken, Remain 등
  • Line scan camera
  • 상/하면 검사
  • 측면 검사 (Option)

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