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2D/3D检测设备

OLED Encapsulation 2D/3D 检测设备

  • 检测电视用OLED encapsulation金属片的Laser cutting工序产生的不良品
  • 利用由Line Scan相机和Confocal传感器组成的混合光学计,同时检测2D/3D
  • 用2D相机检测后,最后检测疑似不良部位为3D传感器
  • 检测完毕后,通过排放皮卡,在良品和次品个别托盘上自动装载
2D/3D 검사장비-cn

LTPS检测设备


  • 检测标准 – 高度40um以上,宽度(长度) 40um以上(95% 可靠性)
  • 检测对象和金属片1440 x 820 mm以下
2D/3D 검사장비-cn
2D/3D 검사장비-cn

光学系配置


  • Dual Line Scan Camera + Chromatic Confocal Sensor + Vision Alignment
Item Specification
  • 传感器Chromatic Confocal (Line Type)
  • 传感器宽度1.26mm
  • Z Resolution0.125um
  • 可测量角度30°
  • 相机Dual Line Scan Camera
  • 镜头2X
  • Pixel FOV5um
  • 扫描速度300mm/s

获得2处金属座椅棱角的形象

X, Y,Θ的扭曲程度自动计算

驱动UVW胶带,排列检测台

  • 相机Area Camera
  • Pixel FOV28um
  • FOV35 x 25 mm

适用领域


2D/3D 검사장비-cn
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